퍼지 레시피는 툴 로그에 완료로 보인다. 유량 시작, 습도 하락, 로트 이동. Front-Opening Unified Pod(FOUP) 도어 가스켓이 안 앉거나, 래치가 시일을 압착하지 않거나, 퍼지 포트 어셈블리가 새면 웨이퍼는 여전히 수분과 파티클을 본다. 마이크로환경은 기계다. 실패하면 포스트에치 부식, AMC 흡착, 파티클 가산이, 누가 캐리어 함대를 볼 때까지 공정 툴 문제처럼 보인다.
팹 Q-time 브리프는 스텝 사이 표면 시계를 소유한다. PEB 큐 노트는 노광→베이크 지연을 소유한다. 특수가스 에세이는 네온·헬륨 공급을 소유한다. 이 페이지는 FOUP 도어 시일·퍼지 경로 건전성—가스켓, 래치, 컨덕턴스, 퍼지 하드웨어를 공정 장비로.
실무 정비는 선택 연극이 아니다. 세정 전 래치 기능 점검은 가스켓을 더 이상 압착하지 않는 도어를 잡는다. 육안은 찌그러지거나 유리화된 엘라스토머를 찾는다. 도어·플랜지 치수 점검은 더 이상 맞지 않는 쉘을 잡는다. 달력 주기—그리고 낙하·충돌·검사 실패 후—컨덕턴스·누설 시험이 그 포드가 아직 생산 웨이퍼를 받을 자격인지 결정한다. 도어 가스켓과 퍼지 어셈블리(필터, O-링, 체크밸브)는 교체 주기가 있는 소모품이다. 시일 프로그램 없는 수천 대 FOUP 함대는 수율 복권이다.
공정 후·보관 중 질소 퍼지는 꽉 닫힌 상자 안에서만 통한다. 도어 오픈 로드포트 퍼지는 더 가혹하다. 주변 EFEM 공기가 퍼지 전선과 싸운다. 디퓨저는 분배에 도움이 되지만, 이동을 위해 도어가 닫힌 뒤 찢어진 가스켓은 용서하지 않는다.
결함 서명이 챔버가 아니라 FOUP ID·캐리어 수명으로 몰리면 로트를 캐리어 계보로 홀드하라. 트랙과 에치 툴은 레시피를 돌린다. FOUP은 그 사이에서 웨이퍼가 숨 쉬는 공기를 돌린다.