Purge reçeteleri tool log’da tamam görünür: akış başladı, nem düştü, lot hareket etti. Front-Opening Unified Pod (FOUP) kapı contası oturmuyorsa, mandal contayı sıkıştırmıyorsa veya purge port düzeneği sızdırıyorsa wafer yine nem ve parçacık görür. Mikro ortam mekaniktir. Bozulunca post-etch korozyon, AMC alımı ve parçacık eklemeleri, biri taşıyıcı filosunu inceleyene kadar proses tool sorunları gibi görünür.
Fab Q-time brief’leri adımlar arası yüzey saatlerine sahiptir. PEB kuyruk notları expose-to-bake gecikmesine sahiptir. Specialty-gas yazıları neon ve helyum tedariğine sahiptir. Bu sayfa FOUP kapı contası ve purge yolu bütünlüğüdür—conta, mandal, conductance ve purge donanımı proses ekipmanı olarak.
Pratik bakım isteğe bağlı tiyatro değildir. Temizlik çevrimlerinden önce mandal işlev kontrolleri, contayı artık sıkıştırmayan kapıları yakalar. Görsel muayene ezilmiş veya camlaşmış elastomeri bulur. Kapı ve flanş ölçü kontrolleri artık oturmayan gövdeleri yakalar. Takvimli—ve düşme, çarpışma veya başarısız muayeneden sonra—conductance veya sızıntı testi, pod’un hâlâ üretim wafer’ına layık olup olmadığına karar verir. Kapı contaları ve purge düzenekleri (filtreler, O-ringler, check valve’lar) değiştirme aralıklı sarf malzemeleridir; conta programı olmayan binlerce FOUP’luk bir filo verim piyangosudur.
Proses sonrası ve depolama sırasında azot purge yalnızca sıkı bir kutu içinde çalışır. Kapı açık loadport purge daha da affetmez: ortam EFEM havası purge cephesiyle savaşır. Diffuser’lar dağılıma yardımcı olur; kapı yolculuk için kapandığında yırtık contayı affetmezler.
Hata imzaları oda yerine FOUP kimliği veya taşıyıcı yaşına göre kümelenince lotu taşıyıcı soyuna karşı tutun. Track ve etch araçları reçete koşar. FOUP, aralarında wafer’ın soluduğu havayı koşar.