Report ID: ET-09
Tool: Etch chamber family C(익명)
Symptom: “Pressure tweak” 후 CD mean shift + edge-heavy map
형식: Designed experiment write-up. Brainstorming slide가 아님.
1. Objective
Chamber pressure setpoint(±8%)가 CD shift를 설명하는지, 아니면 RF hours / season kit / ESC temperature가 지배하는지 판정.
2. Factors (coded)
| Factor | − | + | Notes | | --- | --- | --- | --- | | A Pressure | −8% | +8% | Contested knob | | B RF hours bucket | Low | High | Same chamber | | C ESC temp | Nom | +3°C | Often ignored |
Short-loop wafer에서 full factorial 2³; 이후 product-like stack에서 confirmation.
3. Results (압축)
Main effect A(pressure) 작음.
Main effect B(RF hours) 큼.
Interaction B×C가 edge die에서 보임.
Pressure narrative는 실패했다. Consumable/seasoning narrative가 유지되었다.
Pressure에 대한 큰 목소리는 main effect가 아니다.
4. Confirmation lot
Nominal pressure의 high RF-hours chamber가 defect signature를 재현했다.
+8% pressure의 low RF-hours chamber는 재현하지 않았다.
Decision: Pressure tribal fix를 freeze; RF-hour gate로 kit/season playbook을 trigger.
5. 거의 잘못한 것
- 모든 chamber의 “golden에 맞추려” pressure 변경.
- Split lot 없음.
- Coded factor 없음.
- MES note: “optimized.”
그 경로는 다음 PM에서 서로 싸우는 tribal recipe를 발명한다.
Coded되지 않으면 experiment가 아니다—mood다.
6. Actions
| Action | Owner | | --- | --- | | RF-hour threshold → auto advisory | Equipment | | Run card에 ESC temp logging 필수 | Process | | Pressure 변경은 ET-style DOE ID 필요 | Process + Yield | | Map와 함께 ET-09를 QMS에 close | Yield |
Adjacent fences
Ion-implant dose walk는 Faraday chain을 소유한다. Wet-bath notebook은 titration lifetime을 소유한다. High-NA stitching은 litho seam을 소유한다. AMC hunt는 airborne chemistry를 소유한다. ET-09는 etch rumor에 대한 causal 정직성을 소유한다. Map 하나가 못생겼다고 모든 chamber를 retune하지 말라.
Sign-off
Process ____ Equipment ____ Yield ____
세 서명 없으면 ET-09는 control이 아니라 PDF다.