Rapor ID: ET-09
Tezgah: Etch odası ailesi C (anonim)
Belirti: “Baskı ince ayarı” sonrası CD ortalama kayması + kenar ağırlıklı harita
Biçim: Tasarlanmış deney yazımı. Beyin fırtınası slaytı değil.
1. Amaç
Oda basınç setpoint’i (±%8) CD kaymasını açıklıyor mu, yoksa RF saatleri / season kit / ESC sıcaklığı mı baskın?
2. Faktörler (kodlu)
| Faktör | − | + | Notlar | | --- | --- | --- | --- | | A Baskı | −%8 | +%8 | Tartışmalı düğme | | B RF saat kovası | Düşük | Yüksek | Aynı oda | | C ESC sıcaklığı | Nom | +3°C | Sık göz ardı |
Kısa döngü wafer’larda tam faktöriyel 2³; ardından ürün benzeri yığın üzerinde doğrulama.
3. Sonuçlar (sıkıştırılmış)
Ana etki A (baskı) küçük.
Ana etki B (RF saatleri) büyük.
Kenar die’lerde B×C etkileşimi görünür.
Baskı anlatısı çöktü. Sarf/seasoning anlatısı tuttu.
Baskı hakkında yüksek sesli görüş ana etki değildir.
4. Doğrulama lotu
Nominal baskıda yüksek RF-saatli oda kusur imzasını yeniden üretti.
+%8 baskıda düşük RF-saatli oda üretmedi.
Karar: baskı kabile düzeltmelerini dondur; RF-saat kapısına göre kit/season playbook’unu tetikle.
5. Neredeyse yanlış yaptığımız
- Tüm odalarda baskıyı “altın ile eşleştirmek” için değiştirmek.
- Split lot yok.
- Kodlu faktör yok.
- MES notu: “optimize edildi.”
Bu yol bir sonraki PM’de birbirine karşı savaşan kabile reçeteleri uydurur.
Kodlu değilse deney değildir—ruh hâlidir.
6. Faaliyetler
| Faaliyet | Sahip | | --- | --- | | RF-saat eşiği → otomatik uyarı | Ekipman | | Run card’larda ESC sıcaklık logu zorunlu | Proses | | Baskı değişiklikleri ET tarzı DOE ID gerektirir | Proses + Verim | | ET-09’u haritalarla QMS’de kapat | Verim |
Komşu sınırlar
İyon implant doz yürüyüşleri Faraday zincirlerine sahiptir. Islak banyo defterleri titrasyon ömrüne sahiptir. High-NA dikiş lito dikişlerine sahiptir. AMC avları havadaki kimyaya sahiptir. ET-09 etch söylentisinde nedensel dürüstlüğe sahiptir. Tek harita çirkin diye tüm odaları yeniden ayarlama.
Onay
Proses ____ Ekipman ____ Verim ____
Üç imza olmadan ET-09 bir PDF’dir, kontrol değil.