Fab 품질 회의는 베이 모니터 입자 추세를 믿는다. 수율이 부드러워지면 AMC, 인원 프로토콜, 툴 배기를 찾는다. 카운터가 설치 때 측정한 것을 여전히 측정하는지 묻는 이는 드물다.
입자 카운터는 나이 든다. 흡입 호스는 미세 균열, 광학은 오염, 유로는 변하고, 영점 점검은 표류한다. 베이는 종이상 Class 5인데 계기가 과소·과대 계수할 수 있다.
이것은 레티클 결함 이탈도 FOUP 씰 실패도 아니다. 공기 증인에 대한 계측 드리프트다.
기록할 드리프트 모드
- 교정 사이 영점 시험, 벤더 공차 초과 표류.
- 명시 샘플 부피에서 유량 오차—특히 베이 간 이동 휴대형.
- 장기 캠페인 후 서비스 없이 고농도에서 coincidence 손실.
- 길이·굴곡 문서 없이 툴 간 공유 호스 세트.
리뷰 팩에 보여줄 것
- as-found/as-left 영점이 있는 최근 ISO 21501(또는 동등) 인증서.
- 고정 위치·동일 프로브 높이 0.3µm·0.5µm 카운트 베이스 추세.
- 베이 재자격이 룸 ID가 아니라 카운터 시리얼에 묶임.
같은 그리드 점에서 두 카운터가 불일치하면 계측이 심판을 고를 때까지 제품 이동 인증 중단.
게이트
교정 만료 카운터로 연장 승인 없이 베이 강등·승급 없음. 로그에 시리얼 없는 “스팟 체크 OK” 없음.
룸 공기가 제품 환경이다. 카운터가 증인이다. 증인을 교정하거나 클린룸 상태 서명을 멈춰라.