Fab kalite toplantıları bölge monitöründeki partikül trendine güvenir. Verim yumuşayınca av AMC, personel protokolü ve tool egzozuna gider. Daha seyrek biri sayacın kurulumda ölçtüğünü hâlâ ölçüp ölçmediğini sorar.
Partikül sayaçları yaşlanır. Emiş hortumları mikro çatlar, optikler kirlenir, akış yolları kayar, sıfır kontrolleri sürüklenir. Bölge kağıtta Sınıf 5 okurken enstrüman eksik sayabilir—veya fazla sayıp boşuna panik temizlik yaptırır.
Bu retikül defekt sapması veya FOUP conta arızası değildir. Hava tanığında metroloji kaymasıdır.
Kayda değer kayma modları
- Kalibrasyonlar arası sıfır testi, satıcı toleransını aşan sürüklenme.
- Bildirilen hacimde akış hatası—özellikle bölge bölge taşınan portatiflerde.
- Uzun kampanyalar sonrası servis olmadan yüksek konsantrasyonda çakışma kaybı.
- Uzunluk ve büküm dokümansız araçlar arasında paylaşılan hortum setleri.
İnceleme paketinde olması gerekenler
- Bulunduğu/bırakıldığı sıfırlarla son ISO 21501 (veya eşdeğeri) sertifikası.
- Sabit konumda, aynı prob yüksekliğinde 0,3 µm ve 0,5 µm sayım baz trendi.
- Bölge yeniden nitelendirmesi oda ID’si değil sayaç seri numarasına bağlı.
Aynı ızgara noktasında iki sayaç çelişirse metroloji hakem seçene kadar ürün hareketini sertifikalamayı durdur.
Kapı
Kalibrasyon vadesi geçmiş sayaçla uzatma onayı olmadan bölge düşürme veya yükseltme yok. Seri numarası logda olmadan “nokta kontrol OK” yok.
Oda havası ürün ortamıdır. Sayaç tanıktır. Tanığı kalibre edin veya temiz oda statüsünü imzalamayı bırakın.