Saha notu — araç mühendisliği
Oda eşleştirmesi RF saatlerini suçladı. Kenar CD yürüdü. Bölme proses modülü değil, load-lock B’ydi.
Pumpdown ikonda “taban”a ulaştı. Kapı sıkılı leak-up nitelendirme limitinin 2,3 katıydı. Transfer kapısı O-ring’inde sıkışma seti vardı. Takt kurtarmak için iki hafta önce araca crossover kısaltılmıştı. Wafer’lar önceki atmosferi unutmak için yeterince tutmayan bir lock’a giriyordu.
Bu kuru vakum foreline hikâyelerine ve ESC helyum sızıntılarına komşudur, tekrarı değildir. Sınır burada load lock’un kontaminasyon ve basınç hafızası cihazı olmasıdır.
Lock ne yapıyor
Her transfer küçük bir vakum çevrimidir: pumpdown, isteğe bağlı purge, araç veya FOUP tarafına aç, kapat, tekrar pump. Vanalar kapalıyken leak-up oranı dürüstlük testidir. Yavaş sızıntılar wafer odaya geçmeden önce H₂O, O₂ ve organiklerin kısmi basıncını yükseltir. Kısaltılmış pumpdown süreleri takt alır, kimyada öder.
Kapı contaları, transfer kolu körükleri ve viewport gresleri eğrili sarf malzemeleridir—ömür boyu parça değildir.
PM sayfasındaki sayılar
Kaydedin: tabana süre, nitelendirme basıncında leak-up oranı, crossover basıncı ve conta değişiminden beri kapı çevrim sayısı. Taban basıncı sapmadan önce leak-up’ı trendleyin. Conta değişimini leak kontrolü olmadan izleyen uçurum proses değişikliğidir.
Crossover zamanlaması, conta tedarikçisi veya purge gaz reçetesinde her değişimden sonra pumpdown’ı nitelendirin.
Oda DOE’sinden önce
Lock serisini, son leak-up’ı ve takt düzenlemelerinin pumpdown’ı kısaltıp kısaltmadığını sorun. Oda lock’un hatırladığını görür.