Kimyasal mekanik düzleme slurry kimyası ve baskı kuvveti olarak satılır. Araçta wafer, olukları slurry taşıyan ve pürüzleri mekanik işi yapan bir polimer pad görür. Oluklar dolar. Yüzey glaze olur. Kaldırma hızı sapar. Eşleştirme toplantısında kafa veya slurry sorunu gibi duran kenar-hızlı veya merkez-hızlı imzalar çıkar—ta ki biri oluk derinliğini ölçüp pad’in bittiğini bulana kadar.
Bu, slurry soğuk zinciri ve parçacık boyutu hikâyelerine komşudur, onların tekrarı değildir. Sarf burada pad–conditioner çiftidir.
Pad ne yapıyor
Oluklar hidrolik bir ağdır. Sığlaşınca yerel slurry yenilenmesi çöker; sıcaklık ve sürtünme yükselir. Glaze, daha az aşındırıcı sıkışmış bir deridir; kaldırma hızını keser ve conditioner sonra hızı “kurtarmak” için agresif kazınca çizik riskini yükseltebilir. Wafer sayısındaki pad ömrü başlangıç tahminidir; gerçek kapı nitelendirmedeki metroloji veya kupon tabanına karşı geometri ve dokudur.
Conditioner diskleri serbest mobilya değildir. Elmas boyutu, baskı, RPM ve tarama deseni olukların ne hızda restore edildiğini pad’in ne hızda tüketildiğine karşı koyar. Az condition glaze üzerinde cilalamaktır. Çok condition pad ömrünü yer ve slurry yoluna döküntü atar.
Araç raporuna ait sayılar
İzleyin: pad değişiminden beri saat veya wafer sayısına karşı monitörlerde kaldırma hızı, conditioner saatleri ve fab’de varsa periyodik oluk veya pad yüzeyi metrikleri. Slurry lotu değişmeden conditioner değişiminden sonra bir basamak, gizemli proses sapması değil conditioner veya tarama sorunudur.
Pad değişiminden sonra break-in POR’un parçasıdır. “Kapasite kurtarmak” için break-in wafer’larını atlamak, yeni pad’in ilk üretim lotunun sapma lotu olmasıdır.
Eşleştirme ve değişiklik kontrolü
Pad ve conditioner nitelendirilmiş bir çifttir. Satın alma daha ucuz disk bulduğu için yalnızca conditioner markasını değiştirmek proses değişikliğidir. Çizik ve düzgünlüğü yeniden kontrol etmeden hız kovalamak için conditioner reçetesini değiştirmek de öyledir.
Slurry lot bekletmeleri ile pad değişimleri tasarlanmış bir split olmadan aynı vardiyada karıştırılmamalıdır. İkisi birden hareket edince eşleştirme ekibi bir hafta tartışır.
Verim toplantısının önce sorması gereken
Bir hız uçurumu için slurry çift kaynağı suçlanmadan önce pad serisi, oluk durumu ve conditioner saatlerini sorun. CMP hızında oda eşleştirmeden önce pad’lerin karşılaştırılabilir ömürde olup olmadığını sorun.
Wafer tote sertifikasını görmez. Kafa altındaki pad yüzünü görür. O yüzü ölçülen sarf gibi bakın veya pad yaşını izleyen “slurry varyasyonu”nu açıklamaya devam edin.