Defter: Wet Process · Bench 3 · Bath #7 (SC-1 kardeş kimyası, anonim)
Bu kitabın kuralı: yalnızca mürekkep; “MES’i sonra güncelleriz” yok
2026-07-12 — Kurulum / dolum
Yeni banyo hedefe karıştırıldı. TOC ve partikül baz çizgisi kaydedildi. Operatör: J.K.
Not: heater PID ayarlandı; recirculation filter DP = 0.4 bar.
2026-07-18 — “Hâlâ iyi”
Görsel OK. Titrasyon yok. Üretim changeout’u “hafta sonuna kadar” ertelemek istedi.
Kenar notu (supervisor): hafta sonu kimyasal bir özellik değildir.
2026-07-21 — İlk fısıltı
Metrology: yalnızca bu bench’ten çıkan wafer’larda hafif partikül artışı. Split lot bench-korele olduğunu doğruladı.
Alınan aksiyon: yok. Tartışılan aksiyon: “izle.”
2026-07-23 — Titrasyon (sonunda)
Aktif tür hedefe göre düşük. Stabilizer garip. Filter DP 1.1 bar.
Banyo yaşı: titrasyonla “veya” yumuşak SOP üst sınırı 7 güne karşı 11 gün.
Titrasyon isteğe bağlıysa ömür folklördür.
2026-07-23 — Changeout
Boşalt / durulama / yeniden dolum. Filtre değiştirildi. Baz çizgisi iki lot içinde geri geldi.
Üç gündür hurda “bilinmeyen fab partikülleri”ne yazılmıştı.
2026-07-25 — Bu kitapta kural yeniden yazımı (slaytta değil)
Changeout tetikleyicileri (herhangi biri ateşler):
- Takvim max saat (sert)
- Titrasyon pencere dışı (sert)
- Filter DP limiti (sert)
- Bench-korele partikül imzası (sert)
- Üretim tercihi (asla)
Bitişik sayfalardan yapıştırılan çapraz kontroller
| Sinyal | Bath #7 | Bath #6 (kontrol) | | --- | --- | --- | | Partikül delta | + | düz | | Titrasyon | geç | programa uygun | | Filter DP | yüksek | nominal | | Sahiplik | paylaşılan omuz silkme | adlı wet owner |
Bitişik çitler
UPW tesis suyu saflığına sahip. CDA kuru havaya sahip. Photoresist track coat/develop’a sahip. AMC avları havadaki organiklere sahip. Hiçbiri Bench 3’te banyo titrasyon periyoduna sahip değil. Titrasyon yapmayı reddettiğiniz banyo için UPW’yi suçlama.
Defter, MES aynı kapıları zorlayana kadar kontrol sistemidir.
Son satır (2026-07-28)
Bath #7 bir hatırlatmadır: wet ömür ölçülür, pazarlık konusu değildir. Kitapta zamanla yoksa olmamıştır.