Notebook: Wet Process · Bench 3 · Bath #7(SC-1 sibling chemistry, 익명)
이 책의 Rule: ink only; “나중에 MES에 update” 없음
2026-07-12 — Install / fill
New bath를 target으로 mix. TOC와 particles baseline 기록. Operator: J.K.
Note: Heater PID tuned; recirculation filter DP = 0.4 bar.
2026-07-18 — “Still fine”
Visual OK. Titration 없음. Production이 changeout을 “weekend까지” 연기 요청.
Supervisor 여백 note: Weekend는 chemical property가 아니다.
2026-07-21 — First whisper
Metrology: 이 bench만 빠져나가는 wafer에서 particle 소폭 상승. Split lot가 bench 상관을 확인.
취한 Action: 없음. 논의된 Action: “monitor.”
2026-07-23 — Titration (마침내)
Active species가 target 대비 낮음. Stabilizer odd. Filter DP 1.1 bar.
Bath age: Soft SOP max 7일 “or by titration” 대비 11일.
Titration이 optional이면 lifetime은 folklore다.
2026-07-23 — Changeout
Drain / rinse / refill. Filter 교체. Baseline이 두 lot 안에 복원.
Scrap은 이미 사흘간 “unknown fab particles”로 booking됨.
2026-07-25 — 이 책에서의 Rule rewrite (slide가 아님)
Changeout trigger(하나라도 fire):
- Calendar max hours(hard)
- Titration outside window(hard)
- Filter DP limit(hard)
- Bench-correlated particle signature(hard)
- Production preference(never)
Adjacent pages에서 붙여 넣은 cross-check
| Signal | Bath #7 | Bath #6 (control) | | --- | --- | --- | | Particle delta | + | flat | | Titration | late | on schedule | | Filter DP | high | nominal | | Ownership | shared shrug | named wet owner |
Adjacent fences
UPW는 facility water purity를 소유한다. CDA는 dry air를 소유한다. Photoresist track은 coat/develop를 소유한다. AMC hunt는 airborne organics를 소유한다. 어느 것도 Bench 3의 bath titration cadence를 소유하지 않는다. Titrate를 거부한 bath를 UPW 탓으로 돌리지 말라.
MES가 같은 gate를 enforce할 때까지 notebook이 control system이다.
Last line (2026-07-28)
Bath #7은 상기다: wet lifetime은 협상하지 않고 측정한다. 시간에 맞춰 책에 없으면, 일어나지 않은 것이다.