Islak etch veya temizlemeden sonra wafer’lar çoğu zaman bir sonraki vakum aracından önce spin-rinse dryer ile buluşur. Filigran, haze veya halka kalıntıları çıkınca ilk toplantı hâlâ etch banyosu veya bir CMP lotuyla açılır. Bazen onlar suçludur. Çoğu zaman hasta SRD’dir: DI durulama eksik, yüzey gerilimi uyumsuz, egzoz dengesiz, damlacıkların oturmasına izin veren spin yavaşlaması veya kuru gölge bırakan chuck. Muayene parçacık der. Fab hurda kodu hak etmediği bir kimya tartışması alır.
Bu, wet-bench banyo ömrü ve etch–film arası Q-time’a komşudur, tekrarı değildir. Birim işlem burada durulama–kurutmadır.
SRD ne yapıyor
Durulama, proses kimyasını bilinen bir bitiş noktasına yerinden etmelidir. Kurutma, buharlaşmanın kalıntıları filigrana yoğunlaştırmasından önce sıvıyı kaldırmalıdır. IPA veya diğer yardımcılar yüzey gerilimini ve kuruma dinamiğini değiştirir; filigran oranlarını yeniden nitelendirmeden “maliyet” biletiyle atlamak proses değişikliğidir. Kaseyle savaşan egzoz, wafer’a geri yağan sis bırakır.
Chuck temizliği ve kenar teması önemlidir. Kirli chuck, wet bench’i değil araç serisini izleyen bir desen basar.
Araç raporuna ait sayılar
İzleyin: SRD odasına göre filigran veya haze sayıları, kullanım noktasında DI özdirenç ve organikler, egzoz diferansiyeli, gerçekten koşulan reçete spin segmentleri ve Q-time bağladığında son ıslak kimyadan kuru tamamlanmaya süre. Kurutucuyla hareket edip chuck temizliği veya reçete geri yüklemesinden sonra kaybolan uçurum etch DOE adayı değildir.
DI header’daki parçacık monitörleri gerekli ve yeterli değildir. Spin’in son saniyeleri yüzeyde neyin donacağını belirler.
Değişiklik kontrolü
Durulama hacimleri, spin RPM tabloları, IPA enable ve egzoz set noktaları tariftir. Filigran korelasyon lotu olmadan DI polish reçinesi çift kaynağı veya IPA grade değişimi, sessiz verim yürüyüşlerinin başlama yoludur.
Muayenede halkalar için banyo kimyası kavgasından önce SRD odasını, son chuck PM’ini ve kuru reçetenin nitelendirmeye uyup uymadığını sorun. Wafer toplantıyı değil kurutmayı hatırlar.