Silisyum karbür substrat tedariki kaç başlangıç wafer’ı olduğunu belirler. Cihaz yol haritaları hangi MOSFET veya diyot tasarımının sevk edilmek istediğini belirler. Bu iki cümle arasında epitaksi durur: kalınlık, doping ve öldürücü kusurların bir wafer’a lot ataması kazandırdığı veya onu pahalı hurda olarak geri gönderdiği büyütülmüş katman.
Yalnızca boule çap geçişlerini izleyen ekipler, bir güç-modül rampasında gerçek boğumun kristal sayısı değil epi verimi olduğunu çok geç keşfeder.
Harita ne işe yarar
Bir epi kusur haritası verim toplantısı duvar kâğıdı değildir. Bir disposition aracıdır:
- Hangi zonlar kalınlık ve doping pencerelerinde kalır.
- Hedef cihaz için hangi kusur sınıfları öldürücüdür (micropipe, üçgen, stacking fault—adlandırılmış ve sayılmış; “partikül” değil).
- Hangi wafer’lar litografiye girebilir, hangileri yeniden işlenir veya düşülür.
Disposition kuralı olmayan renk süslemedir.
Haritaları dürüst tutan proses alışkanlıkları
Metroloji dondurması olmayan reçete dondurması kurmacadır. Gaz paneli sapması, susceptor yaşı ve temizleme aralıkları, SPC grafikleri dramatik görünmeden kusur imzalarını hareket ettirir. Epi haritalarını MES soy ağacına bağlı lot pasaportu gibi işleyen tesisler, PNG’leri paylaşılan sürücüde saklayan tesislerden daha hızlı containment yapar.
Tutan kısa kural seti:
- Cihaz ailesi başına bir altın harita tanımı; toplantılarda ad-hoc renk ölçeği yok.
- Öldürücü kusur taksonomisi proses mühendisliğinin; haftanın slayt yazarının değil.
- Ortalamalar kırmızı göründüğünde değil, harita kapsamı veya araç korelasyonu düştüğünde lot’u tutun.
Substrat tedarik yazıları kristal ve wafering kapasitesini sahiplenir. SiC/GaN cihaz yazıları anahtarlama kaybı ve paketlemeyi sahiplenir. Paket test giden ekranları sahiplenir. Bu sayfa wafer’ı aday die’ye çeviren kapı olarak epitaksiyi sahiplenir. Substrat sözleşmesini kutlayıp epi haritasını yok saymayın.