Kimyasal yükseltmeli ve geleneksel resistler şişede yaşlanır. Fotoaktif bileşenler kayar, viskozite yürür, ambalajdan parçacık ve iyon birikebilir ve üreticinin son kullanma tarihi, belirtilen saklama altında spesifikasyonların tutulduğu iddiasıdır—dose-to-size’ın son saate sabit kalacağı sözü değil. Dar CD pencereleri çoğu zaman basılı tarihten önce doz veya develop retune ister, özellikle sıcak saklama veya soğuk şişeye nem yoğuşturan geç dengelemeden sonra.
PEB üniformitesi bake plakalarına sahiptir. Post-exposure kuyruk PED’e sahiptir. BARC kalınlığı alt kata sahiptir. Bu sayfa litografi girdileri olarak resist yaşı ve saklama disiplinidir—şişe lotu, soğuk oda geçmişi ve track’te geçen süre.
Tedarikçi aralığına göre saklayın. Birçok kritik resist soğutma ister (etiket söylediğinde yaygın olarak yaklaşık 4–10 °C); diğerleri oda sıcaklığına yakın kalmalıdır—tek tesis kuralını değil şişeyi izleyin. Yoğuşmanın resist’i sulandırmaması için soğuk şişeleri açmadan önce bay sıcaklığına getirin. Bulk soğukken ılık oturan day bottle veya day tank’lar kabile pratiği değil, bilinçli bir MoC’dir. CD ve coat kalınlığını resist lot yaşı ve saklama sapma bayraklarına karşı izleyin; soyağacını güncellemeden yaşlı lotu “düzelten” bir doz merdiveni kabile merkezlemesi icat eder.
Post-coat delay ve kaplanmış wafer saklama komşu saatlerdir. Yaşlı resist artı uzun PCD yığını, scanner drift gibi görünen şekillerde üniformite ve proximity davranışını hareket ettirebilir. İmza kimya yaşına araç odasından çok uyuyorsa lotları şişe açılış tarihi ve coat-to-expose dakikalarına karşı tutun.
Kritik olmayan katmanlar metroloji kanıtıyla nominal süreyi geçebilir. Kritik katmanlar geçmemelidir. Traveler yalnızca “kullanıma uygun” diyorsa litografi POR’u kimyanın çoktan doldurduğu bir alanı eksiktir.