Takvim: EUV-S7 · Source / scanner çifti (anonim)
Dönem: 28 gün
Ops iddiası: “Source availability %91.”
Biçim: Availability takvimi. Tin-droplet fizik dersi değil.
Ay ızgarası (sade)
| Hafta | Pzt | Sal | Çar | Per | Cum | Cmt | Paz | | --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- | | W1 | G | G | A | G | R | G | G | | W2 | G | Y | G | G | G | A | G | | W3 | R | R | Y | G | G | G | A | | W4 | G | G | G | Y | G | G | G |
Lejant: G = available & exposing · Y = available, doz kararsız · A = available, reticle/lot yok · R = down
CMMS’te yeşil, wafer takviminde yeşil değildir.
%91 nerede yalan söyledi
CMMS “available” Y ve A’yı uptime saydı.
Wafer-üretken G-günleri ~%74.
Collector değişim haftası (W3 Pzt–Sal): dürüst R.
Hafta içi Y: source “up,” CD geziyor — dashboard yeşilken litografi lot tuttu.
Takvim disiplinleri
- Durumları ayır: Down / Idle-no-lot / Unstable / Exposing.
- G öncesi doz / pulse kararlılık kapısı.
- Reticle-hazır-değil ≠ source başarısı.
- Kapasite planına ham available değil G-saat yayınla.
- Her R günü source alt sistemine bağlı cause code (yalnız “scanner” değil).
Idle ve unstable aynı rengi paylaşırsa finans masalına inanır.
Komşu çitler
High-NA / stitching yazıları görüntüleme fiziğini sahiplenır. Reticle custody maske kimliğini sahiplenır. Matching skor kartları chamber kapılarını sahiplenır. EUV-S7 ‘up’ün resist üzerinde foton olup olmadığını sahiplenır. Basamayan availability satmayın.
Kapanış
Durum renksiz kaynak takvimi mood board’dur. EUV-S7 dört renk kullandı—%91 hikâyesi bitti.