캘린더: EUV-S7 · 소스/스캐너 커플 (익명)
기간: 28일
운전 주장: “소스 availability 91%.”
형식: Availability 캘린더. 주석 방울 물리 강의 아님.
월간 그리드 (단순)
| 주 | 월 | 화 | 수 | 목 | 금 | 토 | 일 | | --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- | | W1 | G | G | A | G | R | G | G | | W2 | G | Y | G | G | G | A | G | | W3 | R | R | Y | G | G | G | A | | W4 | G | G | G | Y | G | G | G |
범례: G = 가용 & 노광 · Y = 가용, 도즈 불안정 · A = 가용, 레티클/로트 없음 · R = 다운
CMMS의 초록은 웨이퍼 캘린더의 초록이 아니다.
91%가 거짓말한 곳
CMMS “available”는 Y·A를 가동으로 셈.
웨이퍼 생산 G일은 약 74%.
컬렉터 교체 주(W3 월–화): 정직한 R.
주중 Y: 소스 “up,” CD 방황 — 대시보드 초록인데 리소가 로트 홀드.
캘린더 규율
- 상태 분리: Down / Idle-no-lot / Unstable / Exposing.
- G 전 도즈/펄스 안정 게이트.
- 레티클 미준비 ≠ 소스 성공.
- 용량 계획에 raw available이 아니라 G-시간 게시.
- 모든 R일은 소스 서브시스템 cause code (단순 “scanner” 아님).
idle과 unstable가 색을 공유하면 재무는 동화를 믿는다.
인접 경계
High-NA/스티칭 에세이는 이미징 물리를 담당한다. 레티클 보관은 마스크 정체성을 담당한다. 매칭 스코어카드는 챔버 게이트를 담당한다. EUV-S7는 ‘up’이 레지스트 위 광자였는지를 담당한다. 찍지 못하는 availability를 팔지 말 것.
마무리
상태 색 없는 소스 캘린더는 무드보드다. EUV-S7가 네 색을 쓰자—91% 이야기는 끝났다.