Saha notu — etch
Islak temizlemeden sonra ilk üretim kasetinde CD 4 nm yürüdü. Oda eşleştirmesi RF saatlerini suçladı. Araç seasoning’i atlamıştı; duvar yanlış anlamda hâlâ “temizdi”.
Islak PM sonrası oda yüzeyleri tarifin nitelendirildiği kararlı durum kimyası değildir. Hızı ve seçiciliği sabitleyen polimer ve yan ürün filmleri seasoning wafer’larında (veya tanımlı plazma tarifinde) yeniden oluşur. Takt kurtarmak için atlayın; ilk ürün lotu müşteri silikonuyla seasoning lotu olur.
Bu load-lock leak-up ve ESC helyum hikâyelerine komşudur, tekrarı değildir. Hasta açık oda işinden sonra duvar durumudur.
Üründen önce ne koşulur
Kaydedin: ıslak temizleme bileti, seasoning reçete ID’si, wafer sayısı, birinciye karşı beşinci kasette etch hızı monitörleri ve seasoning’i kim muaf tuttu. Üçüncü kasette kaybolan ilk-wafer uçurumu yeni gaz tüpü değil duvar hafızasıdır.
Kural
Tamamlanmış seasoning olmadan—veya ilk N wafer için metroloji tutmalı imzalı risk kabulü olmadan—ıslak PM sonrası ürün yok. “Taban basıncı iyi” gerekli ve yeterli değildir.