Skor kartı: CM-4 · Etch ailesi matching incelemesi
Operasyon iddiası: “Golden copy sonrası chamber’lar eÅŸleÅŸti.â€
Biçim: Skor kartı hücreleri. Matching teori dersi değil.
Skor kartı (haftalık)
| Metrik | Ch-A | Ch-B | Ch-C | Kapı | Sonuç | | --- | --- | --- | --- | --- | --- | | CD mean delta vs ref | 0.3 nm | 0.4 nm | 1.9 nm | ≤1.0 | C fail | | Edge-die sigma | OK | OK | Yüksek | spec | C fail | | Particle adders | OK | OK | OK | spec | pass | | RF-saat kovası | Orta | Orta | Yüksek | beyan | uyumsuz | | Season kit ID | K2 | K2 | K1 | aynı | uyumsuz |
A/B ortalama CD’si, C’yi gizleyen dashboard’da iyi görünüyordu.
Aile ortalamaları chamber C’nin işte kalma yöntemidir.
“Golden copy†neyi kopyaladı
Recipe parametreleri: evet.
RF-saat durumu: hayır.
Kit ID: hayır.
Edge map sahipliği: hayır.
Recipe dosyasını kopyalamak matching değildir. Matching bir kapı tablosudur.
Karar
- Edge-kritik katmanlardan Ch-C’yi kit + RF-saat playbook’u bitene kadar karantinaya al.
- Dashboard chamber başına kapı göstermeli, aile ortalaması değil.
- Release öncesi MES’te skor kartı ID zorunlu.
Kit harfleri farklıysa ‘eşleşmiş’ demeyi bırakın.
Komşu çitler
DOE etch raporları nedensel faktör testlerini sahiplenır. Wet-bath defterleri kimya ömrünü sahiplenır. Implant doz yürüyüşleri Faraday gerçeğini sahiplenır. CM-4 skorlanan kapı olarak matching’i sahiplenır. Yüksek saatli kite recipe golden-copy edip buna bilim demeyin.
Ä°mza
Proses ____ Ekipman ____ Yield ____
İmzasız skor kartları dekorasyondur.