스코어카드: CM-4 · 에치 패밀리 매칭 리뷰
운전 주장: "골든 카피 후 챔버 매칭됨."
형식: 스코어카드 셀. 매칭 이론 강의가 아님.
스코어카드 (주간)
| 지표 | Ch-A | Ch-B | Ch-C | 게이트 | 결과 | | --- | --- | --- | --- | --- | --- | | CD mean delta vs ref | 0.3 nm | 0.4 nm | 1.9 nm | ≤1.0 | C fail | | Edge-die sigma | OK | OK | High | spec | C fail | | Particle adders | OK | OK | OK | spec | pass | | RF-hours bucket | Mid | Mid | High | 선언 | mismatch | | Season kit ID | K2 | K2 | K1 | 동일 | mismatch |
A/B 평균 CD는 C를 숨기는 대시보드에서 괜찮아 보였다.
패밀리 평균은 챔버 C가 살아남는 방식이다.
"골든 카피"가 복사한 것
레시피 파라미터: 예.
RF시간 상태: 아니오.
키트 ID: 아니오.
에지 맵 소유권: 아니오.
레시피 파일 복사는 매칭이 아니다. 매칭은 게이트 표다.
결정
- 키트+RF시간 플레이북 완료 전까지 에지 크리티컬 레이어에서 Ch-C 격리.
- 대시보드는 패밀리 평균이 아니라 챔버별 게이트를 보여야 함.
- 릴리스 전 MES에 스코어카드 ID 필수.
키트 글자가 다르면 matched라고 말하지 말 것.
인접 경계
DOE 에치 리포트는 인과 요인 시험을 담당한다. 웨트배스 노트는 화학 수명을 담당한다. 임플란트 도즈 워크는 Faraday 진실을 담당한다. CM-4는 채점된 게이트로서의 매칭을 담당한다. 고시간 키트에 레시피를 골든 카피하고 과학이라 부르지 말 것.
서명
프로세스 ____ 장비 ____ Yield ____
서명 없는 스코어카드는 장식이다.