Zincir: RC-6 · Reticle / mask kafes custody
Varlık: Mask set M-19 (anonim katman)
Olay sınıfı: Dönüş metroloji kapısı olmadan checkout
Biçim: Custody zinciri. Mask-shop broşürü değil.
Custody defteri (özet)
| Adım | İddia | Kanıt | Boşluk | | --- | --- | --- | --- | | Cage out | Tech A imzaladı | İmza var | Pod ID boş | | AMHS taşıma | “auto” | M-19’a bağlı carrier event yok | Yetim move | | Scanner dock | Tool kabul | Dock log OK | Barkod vs traveler insan doğrulaması yok | | Cage in | İmzasız | — | Dönüş eksik | | Kullanım sonrası inspect | “iyi göründü” | Particle / pellicle check sheet yok | Umut |
Pod ID’siz imza hikâyedir, custody değildir.
Sonra ne bozuldu
Kritik katmanda CD kayması. Suç önce etch’te arandı. Reticle geçmişi M-19’un kafesten çıkan M-19 olduğunu—veya pellicle durumunun son nitelikli inspect ile eşleştiğini—kanıtlayamadı.
Mühendislik lot’u yeniden işledi. Custody yeniden işi proses yeniden işinden uzun sürdü.
Minimum zincir (pazarlık yok)
- Cage out: reticle ID + pod ID + hedef tool + imza + zaman.
- Her el değiştirme aynı traveler ID ile MES’te.
- Dock: barkod okuma == traveler; uyuşmazlık = hard stop.
- Cage in: dönüş metroloji / pellicle checklist ID ekli.
- Herhangi bir adım eksik = reticle karantina, “kullan ve umut” değil.
MES ‘hangi pod’ diye cevap veremiyorsa litografi kör uçuyor demektir.
Komşu çitler
FOUP travelogue’ları wafer taşıyıcı kontaminasyon yollarını sahiplenır. Matching skor kartları chamber kapılarını sahiplenır. Pellicle tedarik yazıları sarf kıtlığını sahiplenır. RC-6 zincir olarak maske kimliğini sahiplenır. Kafesi kütüphane onur sistemi gibi kullanmayın.
İmza
Cage sahibi ____ Litho ____ Quality ____
İmzasız dönüşler ‘golden mask’leri söylentiye çevirir.