연쇄: RC-6 · 레티클/마스크 케이지 보관
자산: 마스크 세트 M-19 (익명 레이어)
사건 등급: 반납 계측 게이트 없는 체크아웃
형식: 보관 연쇄. 마스크숍 브로슈어 아님.
보관 원장 (발췌)
| 단계 | 주장 | 증거 | 공백 | | --- | --- | --- | --- | | Cage out | Tech A 서명 | 서명 있음 | 포드 ID 공란 | | AMHS 이동 | “auto” | M-19 연계 carrier 이벤트 없음 | 고아 이동 | | Scanner dock | 툴 수락 | Dock 로그 OK | 바코드 vs traveler 사람 확인 없음 | | Cage in | 미서명 | — | 반납 미완 | | 사용 후 inspect | “괜찮아 보임” | 파티클/펠리클 체크시트 없음 | 희망 |
포드 ID 없는 서명은 이야기다. 보관이 아니다.
나중에 깨진 것
크리티컬 레이어 CD 시프트. 비난은 에치에서 시작. 레티클 이력은 M-19가 케이지를 떠난 M-19인지—펠리클 상태가 마지막 자격 inspect와 맞는지—증명하지 못함.
엔지니어링이 로트를 재작업. 보관 재작업이 공정 재작업보다 길었다.
최소 연쇄 (협상 불가)
- Cage out: 레티클 ID + 포드 ID + 목적지 툴 + 서명 + 시각.
- 모든 인수인계는 MES에서 동일 traveler ID.
- Dock: 바코드 == traveler; 불일치 = hard stop.
- Cage in: 반납 계측/펠리클 체크리스트 ID 첨부.
- 한 단계라도 없으면 레티클 격리. “쓰고 희망” 금지.
MES가 ‘어느 포드’에 답 못하면 리소는 맹목 비행이다.
인접 경계
FOUP 여행기는 웨이퍼 캐리어 오염 경로를 담당한다. 매칭 스코어카드는 챔버 게이트를 담당한다. 펠리클 공급 에세이는 소모품 희소를 담당한다. RC-6는 연쇄로서의 마스크 정체성을 담당한다. 케이지를 도서관 명예 제도처럼 쓰지 말 것.
서명
케이지 소유 ____ Litho ____ Quality ____
서명 없는 반납은 ‘골든 마스크’를 소문으로 만든다.