Birçok plazma ve biriktirme odası, turbo ve kuru pompaların tek başına tutamayacağı yüksek gaz yükleri için kriyojenik vakum pompalarına güvenir. Cryopump, bir array’i kriyojenik sıcaklıklara soğutur; böylece yoğunlaşabilir ve bazı yoğunlaşmayan gazlar yapışır. Kapasite sonludur. Regenerasyon—array’i ısıtmak, desorbe olan gazı roughing yolu üzerinden pompalamak, sonra yeniden soğutmak—o kapasiteyi geri getiren bakım çevrimidir.
Load-lock sızıntı yükselmesi ve kuru vakum foreline notları bitişik vakum konularına aittir. ESC helyumu chuck soğutmasına aittir. Bu yazı proses ekipmanlarında cryopump kapasitesi ve regenerasyon disiplini üzerinedir.
Kapasite bir proses değişkenidir
Array yüklendikçe su ve proses yan ürünleri için pompalama hızı düşer. Chamber base pressure bir süre kabul edilebilir görünebilir; ardından pumpdown süreleri uzar, residual gas analyzer’larda yükselen H₂O veya proses fragment’leri görünür, etch veya deposition hızları kayar. Operatörler çoğu zaman RF saatlerini veya kimyayı suçlar. Cryopump kaydı regen’in gecikmiş veya tamamlanmamış olduğunu gösterirdi.
Kendini kanıtlayan regenerasyon
Zamanlayıcı dolunca biten bir regen, belgelenmiş bir sıcak sıcaklığa ulaşıp desorpsiyon için bekleyen, ardından sızıntı kontrolü veya kapasite proxy’si ile kalifikasyon sıcaklığına soğuyan bir regen ile aynı değildir. Eksik ısıtmalar buz ve kirleticileri bırakır. Çok seyrek regenerasyon takvim kazanır, chamber matching toplantılarında harcanır. Zayıf bir roughing yoluna regenerasyon yalnızca çöpü taşır.
Sahiplik
Kapasite veya saat limitinin ötesinde regen’i kim erteleyebilir, adını koyun. Array sıcaklığını, regen başlangıç/bitişini ve regen sonrası bilinen bir base’e pumpdown’ı kaydedin. Chamber matching’de cryopump seri numaralarını RF saatleri gibi ele alın.
Cryopump’lar yüksek throughput vakum satın alır. O alışın bedeli regenerasyondur. Takvimde ödeyin—ya da residual gas’ta ödeyin.