포토레지스트 엣지비드 이야기는 웨이퍼가 이미 제어된 회전을 한 뒤에 시작한다. 이것은 더 앞에서 시작한다. 척이 여전히 웨이퍼를 소유하는가. 약한 진공, 레지스트로 막힌 홈, 지친 O-링은 센터링 오차, 두께 링, 그리고—운이 다하면—척을 떠나는 웨이퍼를 만든다.
웨이퍼 보우 노트는 평탄도가 척과 어떻게 싸우는지 다룬다. 포토레지스트 트랙 신뢰성은 코팅 균일과 하드웨어 가동을 다룬다. 이 페이지는 스핀/진공 척 홀드 건전성—진공 레벨, 홈 청결, 기판을 쥐는 툴의 씰 건강이다.
건강한 척은 짧은 안착 시간 안에 문서화된 진공을 끌어 스핀 프로파일 내내 유지한다. 느린 펌프다운, “저절로 풀리는” 간헐 진공 알람, 두 번 안착이 필요한 웨이퍼는 조기 경고다. 포트로 튀는 레지스트는 진공 경로를 막다른 길로 만들고, 윗면만 닦는 세정은 홈을 채운 채로 둔다. 엣지 그립과 진공 척은 다르게 실패하지만, 둘 다 계측이 “공정 드리프트” 서사를 만들기 훨씬 전에 기계적 홀드 문제로 실패한다.
정비가 증명해야 할 것
스핀들별 척 진공과 안착 시간을 추세하라. 레지스트 범람·스플래시·씰 키트 뒤에는 유휴만이 아니라 생산 스핀 속도의 모니터 웨이퍼로 홀드를 검증하라. 씰은 OEM이 공개한 사이클·달력 한도로 교체하라. “한 주만 더”는 FOUP 슬롯이 스크랩이 되는 길이다.
두께 맵이 초승달·편심 서명을 보이고 코터 레시피가 안 바뀌었다면 스핀 속도를 다시 쓰기 전에 척 진공 로그를 당겨라. 웨이퍼는 척이 잡지 않은 레시피에 복종할 수 없다.